单腔型（MNT-S系列）

衬底规格

4-12寸单片

三维复杂衬底/粉末与颗粒/多孔及高纵深比材料

RT-400 ^oC，控制精度±0.5 ^oC@单腔

阀门

Swagelok专用ALD阀门，耐热温度200 ^oC

前驱体源

液态、固态、气态以及臭氧源，容器标准50 mL挥发式容器和100 mL载气辅助式容器，其他规格可定制

最高可配备8路前驱体源

载气

N₂或者Ar，质量流量控制器

管路源容器加热温度

配可拆卸加热套，RT-250 ^oC，控制精度±0.5 ^oC

真空系统

油泵、防腐油泵、干泵可选

压力传感器

检测范围1000-2.3*10^-4 Torr

真空管路

烘烤至200℃，且真空泵前级配置热阱，加热温度300℃

控制

触摸屏+PLC

机柜

可移动铝型材框架，不锈钢面板

最小尺寸：720*700*1000 mm

最大尺寸：1000*1000*1000 mm

选配

臭氧发生器/粉末沉积盘/手套箱耦合/ QCM

尾气处理装置