可选配臭氧发生器/粉末沉积盘/手套箱耦合/ QCM尾气处理装置
可选等离子体辅助功能/等离子体气源,臭氧发生器/粉末沉积盘/手套箱耦合/
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一款面向高效率、高均匀性沉积需求设计的双腔原子层沉积设备,采用喷淋 ..
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