江苏迈纳德微纳技术有限公司

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定制薄膜
产品详情

可定制薄膜:

序号

品名

前驱体源

1

Al2O3

三甲基铝+水


2

ZnO

二乙基锌+水


3

TiO2

四(二甲胺)钛+水


4

HfO2

四(二甲胺)铪+水


5

ZrO2

四(二甲胺)锆+水


6

SnO2

四(二甲氨基)锡+水


7

SiO2

三二甲氨基硅烷+O3


8

Ta2O5

五(二甲氨基)钽+水


9

MgO

甲基二茂镁+水



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