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双腔型(MNT-D系列)
产品详情

双腔型(MNT-D系列)

衬底尺寸:4-8英寸

衬底温度:室温-400度,控制精度:±1℃

外腔体烘烤温度:室温-150度,控制精度:±1℃

真空反应腔:316不锈钢腔体或者进口阳极氧化铝

前驱体输送系统:4-6路(可选配液源、固源和气源)

沉积模式:快速模式、高纵深比模式和专业掺杂模式


选配

可选配臭氧发生器、膜厚原位在线测量、通风橱、手套箱、泵前吸附(热吸附、化学吸附及粉尘吸附等)、冷阱、尾气处理器等


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