原子层沉积系统(ALD)

首页>产品中心>原子层沉积系统(ALD)

Micro系列

发布:33 来源:MNT 发布日期:2019-04-28 17:27

双腔型(MNT-D系列)


样品台尺寸:4 英寸 

基底加热温度: RT-300 oC; ±1 oC 

前驱体路数:2路 

前驱体源管路温度:RT-200 oC; ±1 oC 

源容器温度:RT-200 oC; ±1 oC 

沉积模式: 快速模式或高纵深比模式 



微小型(Micro系列).png


网站内容仅做参考,具体参数与图片邮件咨询,谢谢!