原子层沉积系统(ALD)

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Double Chamber Type

发布:33 来源:MNT 发布日期:2019-04-28 09:33

双腔型(MNT-D系列)


衬底尺寸:4-8英寸

衬底温度:室温~600度,控制精度:±1℃

源容器温度:RT-200 oC; ±1 oC

真空反应腔:316不锈钢腔体或者进口阳极氧化铝

前驱体输送系统:4-8路(可选配液源、固源和气源)

沉积模式:快速模式、高纵深比模式和专业掺杂模式


双腔.jpg

选配

可选配臭氧发生器、膜厚原位在线测量、通风橱、手套箱、泵前吸附(热吸附、化学吸附及粉尘吸附等)、冷阱、尾气处理器等



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