江苏迈纳德微纳技术有限公司

服务咨询电话
0510-85215308
ALD有什么优势?
发表时间:2018-01-12 16:10

自限制性和序贯反应给ALD带来了众多优点。首先,虽然每次反应发生的沉积不完全是单个原子层,但膜厚度可被良好控制,并在晶圆上实现出色的均匀性

更重要的是,ALD可以制造出与晶圆形状高度吻合的薄膜层,而且器件图形顶部、侧面和底部沉积的膜厚度都是相同的。这种极好的保形性是形成高纵横比和3D结构的关键。

最后,ALD产生的膜表面由易控制的化学成份组成,可达到原子级的光滑度

44.jpg

分享到:
联   系   方   式:

商务电话: 0510-85215308      技术电话:0510-85215318         邮箱:info@mnt-tech.net

地址:江苏省无锡市新吴区菱湖大道228号天安智慧城3-104

会员登录
登录
我的资料
留言
回到顶部