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ALD有什么优势?
Issuing time:2018-01-12 16:10

自限制性和序贯反应给ALD带来了众多优点。首先,虽然每次反应发生的沉积不完全是单个原子层,但膜厚度可被良好控制,并在晶圆上实现出色的均匀性

更重要的是,ALD可以制造出与晶圆形状高度吻合的薄膜层,而且器件图形顶部、侧面和底部沉积的膜厚度都是相同的。这种极好的保形性是形成高纵横比和3D结构的关键。

最后,ALD产生的膜表面由易控制的化学成份组成,可达到原子级的光滑度

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