原位高真空多功能光电测量设备(ISVOC)

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                             In-Situ High Vacuum Multifunctional Optoelectronic Characterization System
                                                               (原位高真空多功能光电测量系统)
 
主要功能:
1、高真空环境下对器件的光电性能进行测量(电运输性质、光探测性质、光伏性质等)
2、高真空环境下对器件进行表面修饰(如表面掺杂),对修饰过的器件进行原位光电测量
3、对器件在不同气氛、不同浓度下进行光电测量,研究器件的气敏性质


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