江苏迈纳德微纳技术有限公司
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微小型(Micro系列)
产品详情
微小型(Micro系列)
衬底尺寸:4英寸
衬底温度:室温-300度,控制精度:±1℃
真空腔:316不锈钢腔体,170 *60 mm
前驱体输送系统:2路
沉积模式:快速模式和高纵深比模式
占地面积:520*520 mm


选配

可选配臭氧发生器、膜厚原位在线测量、通风橱、手套箱、泵前吸附(热吸附、化学吸附及粉尘吸附等)、冷阱、尾气处理器等


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